БАГАТОКАНАЛЬНА СИСТЕМА РЕЄСТРАЦІЇ СПЕКТРА ВИПРОМІНЮВАННЯ НЕРІВНОВАЖНОЇ ПЛАЗМИ - Білилівський, В. М.; Кравченко, С. Ю.; Кравченко, Ю. С.; Осадчук, В. С. (Вісник Вінницького політехнічного інституту, 2010)
На базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від чотирьох незалежних джерел інформації та візуалізувати цільовий процес плазмового травлення мікроструктур.